Tag: GT200

SUSS GT200 đưa tia UV vào quy trình làm sạch wafer 200 mm

GT200 kết hợp ngâm theo lô, xử lý từng wafer và oxy hóa cặn hữu cơ bằng UV trong một nền tảng. Máy hướng tới R&D và sản xuất quy m...