Tag: water recycling

Chip càng tiên tiến càng cần nước cực sạch: Semiconduct...

Ở node 3 nm và 2 nm, một lượng rất nhỏ ion kim loại, hợp chất hữu cơ hay hạt nano còn sót trên wafer cũng có thể làm giảm yield. V...